及的电子特气种类约40－50种，贯穿成膜、清洗、沉积、刻蚀、掺杂、离子注入等工艺流程中，因此电子特气也被称为晶圆的‘粮食’。”

“这么重要的原材料，完全值得韶钢特气和南山设备大力的投入相关的资源进行发展。”

章京今天也是跟着一起来参加这一次的参观。

南山系的企业太多了，不可能每一个工厂的奠基仪式或者投产仪式都搞的风风火火，那样子曹阳根本就没有那么多的时间去参加。

这一次的韶钢气体第一期工程的项目，规模也不算是特别的大，主要是先解决韶钢自己生产出来的尾气的处理。

今后再考虑使用宝钢等其他厂家的粗制气体。

所以章京自然也是希望谢灵云和潘金兴他们能够多安排一些人力物力发展电子特气这个领域。

毕竟半导体行业是电子特气最大的消耗大户。

而南山半导体又是华夏最大的半导体企业。

“这些电子特气的生产工艺应该还是比较复杂的吧？”

“潘院士，设备方面你们就多操操心咯。”

曹阳肯定是支持章京的观点。

谢灵云肯定也是希望韶钢气体能够发展壮大，这样子南山特殊钢的影响力也会更大。

不过，这需要南山设备去研发更多种类的相关设备才行。

“电子特种气体与传统工业气体的区别在于纯度更高或者具有特殊用途，比如如参与化学反应。”

“这么一来，对生产设备的要求就要高很多，这也是为什么国内之前半导体行业用的电子特气大部分都是需要进口的原因。”

“我们要去研究生产这些设备，自然是能够搞出来的。”

“不过我觉得还是可以选择性的针对一些气体来发力，要不然所有的气体都自己生产的话，性价比反而不一定更高。”

“有一些相对成熟的气体以及生产这些气体的设备，其他厂家也能搞定。”

潘金兴是理解大家的需求的。

不过他也不想完全把这些活给揽下来。

毕竟有一些市场很小，已经有其他不错的国产厂家在里头玩的话，南山设备就没有必要去凑热闹了。

对于潘金兴的这个说法，章京也基本上是认可的。

“通常电子特气的纯度要求必须达到5n及以上级别，n代表纯度百分比中9的个数。”

“晶圆制造对电子特气的纯度要求更为严格，一般要求大于6n。”

“例如在晶圆制造过程中沉积成膜工段的硅烷特种气体纯度要求达到8

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页 / 共5页